_調試時間

 _{新的產品調試30分鐘，有數據保存的產品10分鐘}

 _{壓力重復精度}

 _±0.2KGF

 _CCD調節

 _{XY軸±200MM、垂直度±5度、調節完成后鎖定}

 _外形尺寸

 _{2500MM(長)*1100MM（寬）*2000MM（高）}

 _光源

 _同軸光

 _搬運

 _{落地式滾輪移動}

 _{適用產品尺寸}

 _{Max: 250MM*140MM（8寸內）}

 _重量

 _約800KG

 _定位精度

 _±0.1MM  

 _電源供應

 _{機器電源AC220V±10%、50Hz、5KW}

 _測試頭

 _{硅膠壓頭，壓力可調}

 _{真空泵電源AC220V±10%、50Hz、2KW}

 _{測試頭升降}

 _{壓力可調、速度可調、時間可調}

 _環境要求

 _{無易爆易燃和腐蝕氣體 40℃±5℃; 40~85%RH}

 _{測試位微調平臺調節范圍}

 _0-10MM

 _氣源供應

 _{0.5~0.7Mpa，干燥氣源。}